Vacuum manipulators yog siv los txav los yog txoj hauj lwm wafer los yog cov khoom hauv lub tshuab nqus tsev tshwj xeeb thiab rau kev siv cov khoom siv. Lawv muab kev hloov pauv ntau ntxiv vim tsis siv cov kev sib txuas nruj. Qee lub tshuab nqus tsev vacuum muaj xws li cov khoom siv mounting lossis end-effectors. Lwm tus muaj xws li cov xauv xauv thiab wobble sticks. Feem ntau, lub tshuab nqus tsev manipulators yog siv ua ke nrog lub tshuab nqus tsev vacuum. Wafer handlers lossis robots yog hom kev siv lub tshuab nqus tsev rau kev txav wafers lossis substrates rau hauv lossis tawm ntawm PVD, CVD, plasma etching lossis lwm lub tshuab nqus tsev ua haujlwm. Txhawm rau tsim lub tshuab nqus tsev, lub tshuab nqus tsev lossis lub tshuab nqus tsev nqus lub cev nqus cua los ntawm lub nkoj kom txog thaum lub siab xav tau ua tiav. Yog hais tias lub tshuab nqus tsev vacuum muaj lub tshuab nqus tsev ultra-siab, ces yuav tsum siv lub tshuab nqus tsev ultra-siab thiab lub tshuab nqus tsev ultra-siab.
1. Cov qauv tsim tshwj xeeb ntawm lub tshuab nqus dej tuaj yeem ua rau cov khoom nce lossis poob ntawm qhov xav tau, tab sis kuj tig mus rau txhua qhov kev taw qhia ntawm lub rooj zaum ruaj khov ntawm lub sucker kom ua haujlwm yooj yim thiab raug. Tus qauv tswj chaw taws teeb coj kev yooj yim rau kev ua haujlwm thiab ua kom muaj kev nyab xeeb ntawm cov neeg siv.
2. Lub clamp ntawm lub tshuab nqus tsev nqus tsev vacuum adopts imported suction phaj, muaj zog adsorption quab yuam, muaj kev nyab xeeb thiab tiv thaiv cov khoom ntawm kev puas tsuaj.
3. Lub tshuab nqus tsev crane tuaj yeem nqa tau yooj yim nrog cov khoom tsis yooj yim, tsis yooj yim rau nqa, thiab du nto los txhim kho kev ua haujlwm zoo, txo cov neeg ua haujlwm thiab txuag cov nqi lag luam.